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脈沖電弧蒸發(fā)源的研究

時間：2023-04-26 15:02:41 數(shù)理化學論文

脈沖電弧蒸發(fā)源的研究

本文介紹西安工業(yè)學院研制的脈沖電弧蒸發(fā)源的原漸變膜的性能指標.

脈沖電弧蒸發(fā)源的研究

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學與技術(shù)學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號： O484.4  關(guān)鍵詞： 脈沖電弧   蒸發(fā)源   離子鍍   類金剛石膜   薄膜  

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